引用本文:商宏飞.TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展[J].中国表面工程,2014,27(6):141
SHANG Hongfei.Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress[J].China Surface Engineering,2014,27(6):141
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TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展
商宏飞1
清华大学摩擦学国家重点实验室
摘要:
关键词:  
DOI：10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018
分类号:
基金项目:
Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress
SHANG Hongfei
Abstract:
Key words:  
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