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| 引用本文: | 魏秋平,王玲,余志明,陈永勤,马莉,龙航宇.进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J].中国表面工程,2009,(6): |
| .[J].China Surface Engineering,2009,(6): |
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| 摘要: |
| 采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜.采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究了反应气体的不同进气方式对金刚石薄膜的影响.结果表明,随着进气方式的改变,基体周围气氛的组成、密度和分布受到影响,金刚石薄膜的形核密度、表面形貌、生长织构均有明显的变化,所得金刚石晶粒的生长参数多为1.5<α<3,3~(1/2)/2<г<3~(1/2). |
| 关键词: 金刚石薄膜 进气方式 硬质合金 晶体形貌 织构 |
| DOI： |
| 分类号: |
| 基金项目:粉末冶金国家重点实验室开放基金，湖南省研究生创新基金，中南大学贵重仪器开放共享基金，中南大学优秀博士论文扶持基金 |
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