引用本文:米绪军.论文摘要[J].中国表面工程,1991,(4):43~48
.[J].China Surface Engineering,1991,(4):43~48
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论文摘要
米绪军
作者单位
摘要:
用氮化钛反应磁控溅射方法处理SIS-2140硬化工具钢表面;。研究了基体沉积温度对界面化学成分、氮化钛膜和基体的硬度及其附着力的影响。化学成分的分析采用了俄歇电子能谱、辉光放电光谱(GDOS)和电子探针显微分析方法;附着力和硬度的测量
关键词:  氮化钛反应磁控溅射法 工具钢 表面质量 辉光放电光谱
DOI：
分类号:TG142.45
基金项目:
Abstract:
Key words:  
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