引用本文:郭信章,尹万里.氮化锆薄膜性能的研究[J].中国表面工程,1991,(4):17~19
.[J].China Surface Engineering,1991,(4):17~19
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氮化锆薄膜性能的研究
郭信章,尹万里
作者单位
摘要:
本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料，亦可作硬质镀甚及仿金镀膜层。
关键词:  硬质 老化性能 薄膜性能 镀膜层 氮化 制备 研究 光学 反射率 理想
DOI：
分类号:TG174.444 O484.41
基金项目:
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