引用本文:王福贞.气相沉积技术[J].中国表面工程,1991,(1):48~59
.[J].China Surface Engineering,1991,(1):48~59
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气相沉积技术
王福贞
作者单位
摘要:
随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要，材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它适合于制备超硬、耐蚀、抗氧化、超导、光敏、热敏、磁记录、信息存储，光电转换、太阳能吸收等备种功能。性涂层，也可用于备种装饰涂层。
关键词:  热敏 表面改性技术 涂层 制备 气相沉积技术 耐蚀 磁记录
DOI：
分类号:TG174.4
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Abstract:
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