引用本文:.科技文摘[J].中国表面工程,1989,(4):
.[J].China Surface Engineering,1989,(4):
【打印本页】   【HTML】   【下载PDF全文】   【查看/发表评论】  【EndNote】   【RefMan】   【BibTex】
←前一篇|后一篇→ 过刊浏览    高级检索
本文已被：浏览 4261次   下载 133次  
分享到： 微信 更多
字体:加大+|默认|缩小-
科技文摘
作者单位
摘要:
超硬薄膜的制备——稻川幸之助,《金属表面技术》,1988.NO.2,P2-11(日文)本文阐述PVD 法、CVD 法和动态混合法制备硬质薄膜以及金刚石和立方氮化硼成膜的当前研究动态与发展。活性反应蒸镀、离子镀和溅射能够以高的沉积速率
关键词:  
DOI：
分类号:
基金项目:
Abstract:
Key words:  
手机扫一扫看