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| HiPIMS电源的设计基础及研究进展 |
| | 巩春志，吴厚朴，胡天时，田修波 |
| | 2022,35(5):1-9 [摘要(2054)] [PDF 811.19 K (1489)] [HTML] |
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| 双极高功率脉冲磁控溅射技术薄膜制备研究进展* |
| | 朱祥瑞，韩明月，冯蓬勃，孙玉强，李刘合 |
| | 2022,35(5):10-22 [摘要(2505)] [PDF 18.45 M (1021)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射仿真技术研究进展∗ |
| | 崔岁寒，郭宇翔，陈秋皓，吴忠振 |
| | 2022,35(5):23-41 [摘要(1944)] [PDF 12.67 M (946)] [HTML] |
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| HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控* |
| | 李坤，高岗，杨磊，夏菲，孙春强，滕祥青，张宇民，朱嘉琦 |
| | 2022,35(5):42-55 [摘要(2081)] [PDF 8.40 M (1627)] [HTML] |
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| 基于高功率脉冲磁控溅射的Cr膜层研究进展 |
| | 丁啸云，张津，田修波，吴忠振，连勇 |
| | 2022,35(5):56-69 [摘要(1753)] [PDF 55.92 M (1015)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层 |
| | 魏永强，顾艳阳，蒋志强 |
| | 2022,35(5):70-92 [摘要(1748)] [PDF 78.30 M (1035)] [HTML] |
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| HiPIMS沉积光电薄膜研究进展:放电特性和参数调控 |
| | 张海宝，刘洋，陈强 |
| | 2022,35(5):93-104 [摘要(1695)] [PDF 11.55 M (857)] [HTML] |
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| 高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展 |
| | 白雪冰，蔡群，张旭海 |
| | 2022,35(5):105-115 [摘要(2151)] [PDF 6.08 M (1208)] [HTML] |
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| 高离化磁控溅射技术及其工业应用* |
| | 马旻昱，刘亮亮，李体军，李熙腾，崔岁寒，吴忠振 |
| | 2022,35(5):116-144 [摘要(1728)] [PDF 57.44 M (952)] [HTML] |
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| 高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响 |
| | 高凯晨，巩春志，徐啸尘，田修波 |
| | 2022,35(5):145-154 [摘要(1734)] [PDF 15.30 M (889)] [HTML] |
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| 电-磁场协同增强HiPIMS技术的CrAl靶放电行为及CrAlN薄膜制备 |
| | 李春伟，田修波 |
| | 2022,35(5):155-162 [摘要(1690)] [PDF 9.64 M (917)] [HTML] |
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| 筒内高功率脉冲磁控溅射放电等离子体的空间分布及输运行为 |
| | 崔岁寒，李体军，李蕊，吴忠灿，马正永，吴忠振 |
| | 2022,35(5):163-171 [摘要(1549)] [PDF 13.02 M (927)] [HTML] |
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| 微米压痕测量TiAlN薄膜断裂韧性的数字孪生方法 |
| | 蒋智韬，高剑英，雷明凯 |
| | 2022,35(5):172-183 [摘要(1533)] [PDF 21.99 M (975)] [HTML] |
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| 高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构 |
| | 祁宇星，周广学，左潇，都宏，陈仁德，汪爱英 |
| | 2022,35(5):184-191 [摘要(1824)] [PDF 11.79 M (976)] [HTML] |
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| 脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 |
| | 高海洋，张斌，魏殿忠，但敏，金凡亚 |
| | 2022,35(5):192-199 [摘要(1666)] [PDF 5.95 M (900)] [HTML] |
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| 基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 |
| | 张辉，巩春志，王晓波，张炜鑫，田修波 |
| | 2022,35(5):200-209 [摘要(1673)] [PDF 10.03 M (829)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射管内壁沉积Cr薄膜结构及性能 |
| | 吴厚朴，田修波，郑林林，巩春志，张辉 |
| | 2022,35(5):210-216 [摘要(1564)] [PDF 6.67 M (925)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射制备纳米复合高熵碳化物(CuNiTiNbCr)Cx薄膜 |
| | 李延涛，经佩佩，曾小康，刘茂，姜欣，冷永祥 |
| | 2022,35(5):217-227 [摘要(1718)] [PDF 40.80 M (972)] [HTML] |
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| HiPIMS制备TiB2、TiBN涂层及其等离子体性质 |
| | 吴正涛，叶榕礼，李海庆，王启民 |
| | 2022,35(5):228-235 [摘要(2334)] [PDF 7.43 M (1065)] [HTML] |
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| HiPIMS复合热处理制备高纯Ti2AlC MAX相涂层 |
| | 周定伟，李忠昌，王振玉，马冠水，柯培玲，胡晓君，汪爱英 |
| | 2022,35(5):236-245 [摘要(1680)] [PDF 26.43 M (895)] [HTML] |
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| HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控 |
| | 高方圆，许亿，李国栋，李光，夏原 |
| | 2022,35(5):246-253 [摘要(1685)] [PDF 2.31 M (993)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射TiNb靶材等离子特性及其对薄膜性能影响 |
| | 陈畅子，李延涛，曾小康，马东林，姜全新，冷永祥 |
| | 2022,35(5):254-263 [摘要(1464)] [PDF 16.92 M (831)] [HTML] |
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| 细长管内表面镀Cu过程中的空心阴极辉光电 |
| | 高凯晨，刘仕远，巩春志，田修波 |
| | 2022,35(5):264-271 [摘要(1489)] [PDF 1.07 M (812)] [HTML] |
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| 脉冲偏压对316L不锈钢表面类金刚石薄膜腐蚀行为影响 |
| | 陈东旭，郭阳阳，祁继隆，周艳文 |
| | 2022,35(5):272-278 [摘要(1644)] [PDF 6.93 M (952)] [HTML] |
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