引用本文:柳清亮,何嘉武,张伟,汪勇.非晶碳涂层在不同环境下的摩擦磨损行为研究[J].中国表面工程,2007,(5):32~36
.Friction and Wear Behavior of Amorphous Carbon Coatings in Different Environments[J].China Surface Engineering,2007,(5):32~36
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非晶碳涂层在不同环境下的摩擦磨损行为研究
柳清亮,何嘉武,张伟,汪勇
作者单位
摘要:
采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅表面制备梯度变化的非晶碳涂层（类金刚石薄膜），通过调整工艺参数获得厚度在1～2μm的非晶碳涂层；采用球-盘式摩擦磨损试验机探讨了非晶碳涂层在干燥空气、水润滑和油润滑环境下的摩擦磨损行为。结果表明：非晶碳涂层的摩擦因数基本保持在0．1左右，摩擦环境的变化对涂层的磨损率影响较大；非晶碳涂层在水润滑环境中的磨损率在10^-7mm^3/Nm数量级；在干燥空气摩擦环境中具有稳定的耐磨损性能，磨损率在10^-9mm^3/Nm数量级；特别在油润滑的环境下，非晶碳涂层的耐磨损性能更加优异。
关键词:  非晶碳涂层  梯度变化涂层  摩擦磨损性能
DOI：
分类号:TG174.444
基金项目:国家自然科学基金
Friction and Wear Behavior of Amorphous Carbon Coatings in Different Environments
LIU Qin-liang  HE Jia-wu  ZHANG Wei  WANG Yong
Abstract:
Key words:  amorphous carbon films  gradient structure films  friction and wear behavior
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