引用本文:白辰东,陈华,何家文.等离子体化学气相沉积设备改进及其效果[J].中国表面工程,1993,(1):12~15
.[J].China Surface Engineering,1993,(1):12~15
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等离子体化学气相沉积设备改进及其效果
白辰东,陈华,何家文
作者单位
摘要:
本文分析了原直流等离子体化学气相沉积设备在镀膜中存在的问题，提出了相应的改进措施和方法，通过一定量的工艺调试及分析检测，发现提高预真空度，降低残留气体压力，附加外热源，可以有效地提高TiN镀层的质量。
关键词:  等离子体化学气相沉积 设备改进 镀膜 镀层 真空度 热源 改进措施 工艺调试 分析检测 定量
DOI：
分类号:TG174.444
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Abstract:
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