引用本文:李文治.离子束辅助沉积技术[J].中国表面工程,1991,(3):
.[J].China Surface Engineering,1991,(3):
【打印本页】   【HTML】   【下载PDF全文】   【查看/发表评论】  【EndNote】   【RefMan】   【BibTex】
←前一篇|后一篇→ 过刊浏览    高级检索
本文已被：浏览 4489次   下载 108次  
分享到： 微信 更多
字体:加大+|默认|缩小-
离子束辅助沉积技术
李文治
作者单位
摘要:
一、引言离子注入曾因在半导体产业中的巨大成功而名噪于世,但将此技术移植于一般材料(非半导体)的表面改性时却显得步履艰难。尽管早在10年前,人们已经宣称离子注入使某些材料的耐磨损性提高了3～5倍,也使抗腐性能大为改观。但将实验研究的成果真正推广应用并转化为生产力者尚属少见。诚然,离子注入技术有许多独特的优
关键词:  
DOI：
分类号:
基金项目:
Abstract:
Key words:  
手机扫一扫看